特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域，其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體，
其中常用的有20~ 30種。在集成電路制造應用方面具體包括集成電路芯片制程、化學氣相沉積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用;在太陽能電池應用方面具體包括太陽能電池的應用、晶體硅太陽能電池生產工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池生產工藝和氣體應用;在化合物半導體應用方面具體包括化合物半導體的應用、MOCVD/ LED生產工藝和氣體應用;在液晶顯示器應用方面具體包括TFT /LCD的應用、TFT/ LCD生產工藝和氣體應用;在光纖應用方面具體包括光纖應用和光纖預制棒的生產工藝和氣體應用。
